******有限公司：

你单位报批的《MEMS智能磁传感器核心器件一期项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》）收悉。根据有关法律法规，结合技术评估意见，经研究后提出如下审批意见：

一、原则同意《报告表》结论。项目位于蚌埠市经济开发区东海大道888号中国传感谷C区C2-2栋厂房一层，总投资45000万元，总建筑面积约5000m2，建设一条MEMS智能磁传感器核心器件产线，项目建成后可形成年产2亿颗MEMS智能线性类、角度类、磁场类磁传感器核心器件的生产能力。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目应重点做好以下工作：

（一）严格落实《报告表》中提出的大气污染防治措施。项目硅片酸洗、液相沉积等工序产生的硫酸雾、氯化氢等酸性废气收集后，经“两级碱液喷淋”处理后，由25m高排气筒DA001排放。硅片清洗、化学机械抛光后清洗、干法刻蚀、离子注入等工序产生的氯气、溴化氢、氟化物、磷化氢、硅烷采用“电热水洗（两级水洗）+两级碱液喷淋”处理后，由25m高排气筒DA001排放。硅片清洗、化学机械拋光后清洗、氮化硅沉积、显影等工序产生的碱性废气收集后，经“两级酸液喷淋”处理后，由25m高排气筒DA002排放。硅片清洗、异丙醇清洗、光刻洗边、湿法去胶、金属剥离、光刻等工序产生的有机废气在各工序收集后，经“三级活性炭吸附”处理后，由25m高排气筒DA003排放。危废库产生的有机废气收集后，经“二级活性炭吸附”处理后，由15m高排气筒DA004排放。废硫酸储罐、废盐酸储罐、含氨废液储罐、有机废液储罐产生的对应废气在车间内无组织排放。

项目氯化氢、氟化物、氯气、硫酸雾排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准要求；磷化氢排放标准参考执行《上海市地方标准大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1限值要求。氨气排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2限值要求。非甲烷总烃、异丙醇、丙酮排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表1、表2中排放限值要求。厂界内氯化氢、硫酸雾无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2限值要求，氨气无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表2限值要求；厂房外非甲烷总烃无组织排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表3限值。

******居住、教育、医疗等环境敏感建筑物。

（二）严格落实《报告表》中提出的废水污染防治措施。项目生活污水经厂区化粪池处理后，排入市政污水管网。酸碱废水、含氟废水、TMAH、IPA废水、含镍废水等生产废水在车间分类收集，经地上污水管网分类输送至传感谷污水集中处理中心分质处理。项目生活污水排放执行蚌埠市第二污水处理厂接管标准，生产废水排放执行蚌埠传感谷污水集中处理中心各类废水接管要求。积极对接传感谷污水集中处理中心，做好各类废水收集、输送和处置工作，确保各类废水妥善处置。

（三）严格落实噪声污染防治措施。项目噪声源主要为生产设备和环保设备风机，通过选用低噪设备、合理布局、基础减震、隔声消声等措施降低噪声对环境的影响。项目营运期厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

（四）按照“资源化、减量化、无害化”原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。项目有机废液、废酸液、废碱液采用废液储罐收集，与光刻废液、含氟废液、废硫酸镍、废镍电极、危化品包装材料、废机油、废机油桶、含油废抹布手套、废UV灯管等危废暂存于危废库，委托有资质单位处置；废活性炭不在厂区暂存，定期由厂商上门更换时交由资质单位收集处置。废靶材、不合格产品、废包装材料等一般固废暂存于一般固废库，定期交由物资回收部门处置；纯水制备系统废滤芯由供应商定期更换回收；废锂电池由厂家上门更换并回收。生活垃圾分类收集后由环卫部门统一清运。项目一般固体废物执行《安徽省实施(中华人民共和国固体废物污染环境防治法)办法》相关要求，危险废物贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的相关要求。

（五）认真落实《报告表》中提出的地下水、土壤污染防治措施。按报告表中要求严格落实分区防渗措施，生产区、危废库、生产厂房的集中供液区、供气间、废液储罐区、废水提升间（废水收集罐）、化学品库、事故池、废水收集管道地面等重点防渗区应采取重点防渗措施，一般固废暂存库、原料库、生产区路面等一般防渗区应采取一般防渗措施。按照《报告表》中关于地下水、土壤防渗的设计要求落实重点防渗区防渗措施，确保不发生渗漏现象。

（六）项目运营期间，应建立畅通的公众参与平台，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。

（七）建立健全企业内部环境管理机制和环境管理体系，制定完善的环保规章制度。强化固定污染源和无组织排放源管理，制定自行监测方案，落实环境管理与监测计划，按规定开展自行监测和信息公开。

******消防、应急材料，做好生产过程环保设施与风险防范设施的运行管理和维护，做好环保设施安全生产工作，严格按照操作规程操作，防止出现环境事故。制定完善突发事件环境风险应急预案，按规定报生态环境主管部门备案，开展应急培训和演练，提高环境风险事故预防和应急处理能力。项目设置1座900m3应急事故池（兼初期雨水池）。

四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》《固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版）》等环保法律法规要求，在项目发生实际排污行为之前，你单位应按照要求办理排污许可手续。

五、项目实施中应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》以及国务院生态环境行政主管部门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。

六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

七、请蚌埠市经济开发区生态环境保护综合行政执法大队负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。

（企业统一社会信用代码：******MAE406X022）

2025年6月10日

行政复议与行政诉讼权利告知：依据《中华人民共和国行政复议法》和《中华人民共和国行政诉讼法》，公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定侵犯其合法权益的，可以自公告期限届满之日起六十日内提起行政复议，也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼。